檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "范慶麟".cadvisor (精準) and ckeyword.raw="電漿處理"
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由於金屬氧化物薄膜電晶體獨特的製程特質及材料特性,使它們在新興的薄膜電晶體應用上成為最具有競爭性的選擇,包含均勻性好可以應用在大尺寸的面板、低溫製程而應用於可撓式的結構以及低成本製作等特殊需求的產品…
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為了改善低溫複晶矽薄膜電晶體電特性與穩定度,本論文以Fluorosilicate glass (FSG)覆蓋在通道層即複晶矽(Poly silicon, poly-si)上,在源極與汲極形成的同時,…